日本HORIBA/SEC-E40質(zhì)量流量控制器主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合，同樣適用于研究所的簡易流量控制。

日本HORIBA/SEC-E40質(zhì)量流量控制器的產(chǎn)品詳情：

日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器是在未改變質(zhì)量的品質(zhì)特性條件下實現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。

日本HORIBA/SEC-E40質(zhì)量流量控制器的規(guī)格參數(shù)：

更多產(chǎn)品：SEC-Z500X多量程/多氣體數(shù)字流量控制器

高精度 ±1.0% 設(shè)定點

該流量控制器的線性度由多項式近似曲線補(bǔ)償，并實現(xiàn)在流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)測量。

高速響應(yīng)

裝配“可變PID系統(tǒng)"，可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn)1秒響應(yīng)。可變PID根據(jù)流量點設(shè)置不斷變化。在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時優(yōu)化PID系數(shù)。

多氣體/多量程解決方案

配置軟件可以快速方便更改規(guī)格。重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除流量控制器，即可進(jìn)行更改。減少所需備用流量控制器的數(shù)量，節(jié)省時間和成本。SEC-Z500X 流量控制器適用于各種應(yīng)用以及半導(dǎo)體制造。

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